- Prečítané: 4447x
Stanovenie rôznych prvkov v ultrastopových koncentráciách v ultračistých kyselinách a fotorezistentných stripp roztokoch AAS s grafitovou pecou
V polovodičovom priemysle je nutné použiť techniky, ktorými je možné stanoviť ultra stopové obsahy kovov v zložitých matriciach. Týmto požiadavkám zodpovedá ICP-MS, ale aj GFAAS, ktorá je vysoko selektívna a matrice môžu byť odstránené optimalizáciou teplotných programov. Na všetky analýzy bol použitý atómový absorpčný spektrometer PerkinElmer PinAAcle900Z s priečne vyhrievaným atomizátorom, kamerou Tube VieW, ktorá je užitočná pri nastavení injektovania vzoriek do kyvety a pri optimalizácii teplotného programu a softvérom Syngistix, pomocou ktorého je vývoj metódy pre meranie v grafitovej peci plne automatizovaný. Pre všetky merania boli použité grafitové kyvety Ultra Clean s integrovanými platformičkami. Vo vzorkách boli stanovované obsahy Al, Fe, Na, Ca a Cu. Namerané dáta ukazujú, že vyvinutá metóda je robustná pre rôzne matrice a garantuje kritériá návratnosti podľa smernice SEMI C1-0310 Návod pre analýzu kvapalných chemikálií.