Pri výrobe polovodičov je čistota činidiel veľmi dôležitá, pretože prítomnosť cudzorodých látok môže mať vplyv na kvalitu konečných produktov. Kyselina fosforečná sa bežne používa pri výrobe rôznych polovodičových materiálov a predstavuje analytickú výzvu vzhľadom k jej viskozite, zloženiu a koncentrácii. Všetky analýzy boli vykonané s PerkinElmer OPTIMA 8300 ICP-OES, ktorá využíva technológiu plochých indukčný dosiek namiesto tradičnej indukčnej cievky. Nevyžaduje sa chladenie cievky a plazmový systém je schopný prevádzky pri tak nízkom prietoku Ar, ako je 8 l/min. Analyzované prvky sú uvedené v tabuľkách v tomto článku. Za účelom overenia správnosti a robustnosti metódy bol vykonaný test návratnosti prídavku štandardu. Výťažnosti sa pohybovali v rozmedzí 90 – 111 % v rámci požiadavky SEMI C36-1107. Táto práca preukázala, že pomocou Optima 8300 ICP-OES môže byť kyselina fosforečná efektívne zanalyzovaná tak, aby boli splnené požiadavky SEMI C36-1107. Využitím plazmovej technológie s plochými indukčnými doskami so spotrebou argónu 8 l/min. sa výrazne znižujú prevádzkové náklady, produkuje sa robustná plazma, čo má za následok stabilitu signálu pri zložitých matriciach a nízke medze detekcie.